1.

Meroslovne lastnosti in raba kvadrupolnih masnih spektrometrov v vakuumski tehniki (Posebna sekcija revije Vacuum, Volume 101, March 2014)

Janez Šetina je bil gostujoči urednik posebne sekcije v redni izdaji revije Vacuum, kjer so bili objavljeni izbrani prispevki na temo rabe kvadrupolnih masnih spektrometrov v vakuumski tehniki in njihovim meroslovnim lastnostim. Objavljeno je bilo 8 znanstvenih člankov različnih avtorjev.

C.03 Vabljeni urednik revije (guest-associated editor)

2.

Spodnja meja določevanje sestave izjemno majhnih količin plina s kvadrupolnim masnim spektrometrom

V vabljenem predavanju na mednarodnem simpoziju, ki ga letno organizira Aneriško vakuumsko društvo, sem predstavil nov pristop za določevanje sestave izjemno majhne količine plina v zmesi s kvadrupolnim masnim spektrometrom.

B.04 Vabljeno predavanje

COBISS.SI-ID: 28363303

3.

Referenčni vzorec in postopek za kalibriranje naprav za merjenje vakuumskega razplinjevanja

Patentna prijava je bila vložena pri evropskem patentnem uradu. Prijava opisuje in ščiti smo izdelali referenčne vzorce ki so izdelani iz permeacijskega elementa na osnovi elastomernih materialov ter primernega hermetično zaprtega rezervoarja. Ko rezervoar napolnimo s plinom ali tekočino, le ta prodre v elastomerni material in se v njem raztopi. Če referenčni vzorec damo v vakuumski sistem, se raztopljeni plini pričnejo sproščati v vakuum z znano vrednostjo plinskega pretoka, s katero simuliramo razplinjevanje izbranega plina Referenčno vrednost plinskega pretoka iz vzorca lahko certificira nacionalni laboratorij na primarnem merilnem sistemu za razplinjevanje, drugi laboratoriji pa ga potem uporabijo za validacije svojih sistemov in merilnih metod. Referenčni vzorci so primerni tudi za medlaboratorijske primerjave različnih merilnih sistemov.

F.32 Mednarodni patent

COBISS.SI-ID: 1115562

4.

Nova vakuumska merjenja za industrijo

V letu 2014 je bila izdana posebna izdaja revije Physics world: "Focus on vacuum technology", ki je bila v celoti posvečena zadnjim dosežkom na področju vakuumske tehnike in tehnologij. V reviji smo v poljudnem članku predstavili svetovni javnosti aktivnosti in glavne rezultate projekta EMRP-IND12, v katerem je IMT vodil eno od skupno treh delovnih področij (WP 3: Meritve parcialnih tlakov in razplinjevanja).

B.06 Drugo

COBISS.SI-ID: 1115050

5.

Naprava za kalibracijo aparata, ki se uporablja za merjenje razplinjevanja in postopek za in situ kalibracijo aparata, ki se uporablja za merjenje razplinjevanja

Patentna prijava je bila vložena pri italijanskem patentnem uradu. Prijava opisuje in ščiti referenčne vzorce za razplinjevanje, ki bazirajo na majhni zaslonki nanometrskih dimenzij v tanki membrani iz SiN, ki je izdelana s fokusiranim ionskim snopom (FIB tehnika). Premer nanozaslonke je izbran tako, da ima zaslonka primerno prevodnost za pretok plina. K zaslonki je priključen majhen rezervoar plina, ki je trajno zaprt. Celoten referenčni vzorec je konstruiran tako, da je kompakten in zadosti majhnih dimenzij, da ga lahko vstavimo v običajen vakuumski sistem za meritve razplinjevanja. Pretok plina skozi nanozaslonko lahko certificiramo v ustreznem referenčnem laboratoriju. Realizacija referenčnih vzorcev je rezultat skupnega dela IMT, Univerze v Genovi in INRIM iz Torina.