L2-4249 — Letno poročilo 2012
1.
Selektivno odstranjevanje aluminijoksidene prevleke na jekleni podlagi s femtosekundnimi laserskimi pulzi

Analizirali smo modifikacijo površine dvoplastne strukture (Al2O3/TiAlN), ki smo jo nanesli na podlage iz jekla. Uporabili smo fs laserski pulz (λ = 775 nm, τ = 200 fs) v atmosferskih pogojih. Energija pulza je bila 0.32 μJ to 50 μJ, odgovarjajoča gostota ttoka laserske svetlobe pa je bila 0.11 J cm− 2 - 16.47 J cm− 2. Prve poškodbe smo opazili pri gostoti toka 0.2 Jcm-2, ablacijo aluminijoksidne plasti pa se prične pri 0.56 Jcm-2. Tudi pri največji gostoti toka svetlobe pa nismo opazili ablacije spodnje TiAlN plasti.

COBISS.SI-ID: 26019623
2.
RF magnetronsko naprševanje tankih plasti srebra v Ne, Ar in Kr plazmi - karakterizacija plazme in morfologije površine

Naredili smo sistematične raziskave vpliva Ne, Ar in Kr delovnega plina na lastnosti RF plazme in tanke plasti srebra. Analizirali smo kako moč magnetronskega izvira (25-100 W) in delovni plin vplivata na sestavo plazme. Tako masni kot optični spekter plazme potrdjujeta prisotnost visoko vzbujene plazme v bližini podlag, kar velja za vse vrste delovnih plinov. Opazili smo, da signal Ag in Ag+ v optičnem spektru narašča z naraščajočo RF močjo v izviru in tlakom delovnega plina. Podobna spektra energijske porazdelitve ionov (z vrhom pri 19 eV) smo dobili pri razelektritvi s Ar in Kr (pri tlaku 3 Pa) , medtem ko se ta vrh pri Ne premakne k vrednosti 28 eV. Ag plast, ki smo jo pripravili v Ne plazmi, je imela manjšo hrapavost od tistih, ki sta bili pripravljeni v Ar in Kr plazmi.

COBISS.SI-ID: 26421799