Raziskan je bil vpliv termičnega napuščanje napršenih Ti/Pt plasti na spremembo električne upornosti. Ugotovljen je bil tudi porast temperaturnega koeficienta upornosti (TCR) s temperature napuščanja za izdelane tankoplastne Ti/Pt grelce in senzorske upore. Narejena je bila mikrostrukturna analiza z AES in AFM metodama, ki sta pokazali, da se prične rekristalizacija in rast zrn že pri 500 °C, kar sovpada z ugotovljenimi električnimi lastnostmi. Ugotovljeno je bilo, da dodatni izolacijski ukrepi mikrofluidnega sistema močno zmanjšajo porabo moči Ti/Pt grelcev, obenem pa podaljšajo termični časovni odziv sistema.
COBISS.SI-ID: 8160596
Članek prikazuje rešitve za kontrolo vgrajenih mehanskih napetosti v tankih filmih deponiranih v PECVD reaktorju in nekatere MEMS aplikacije. Analizirane so bile plasti amorfnega silicija, amorfnega silicijevega karbida in amorfnega silicijevega nitrida. Glavni analizirani parametri so bili: temperatura depozicije, sestava plinov, vrednosti in način visoko- oziroma nizko- frekvenčne moči. Pokazalo se je da RF frekvenčni plazemski način (13.56 MHz oziroma 400 kHz) predstavlja glavni vpliv na vgrajene mehanske napetosti v filmih.
COBISS.SI-ID: 8972116
Podan je bil pregled tehnologij za mikroobdelavo, ki se uporabljajo pri izdelavi silicijevih mikrostruktur. Osnovne tehnologije mikroobdelave, kot so različne metode jedkanja silicija (izotropno, anizotropno, mokro, suho,…), jedkanje drugih pomembnih materialov (Pyrex steklo, Borofloat steklo, ipd), kot tudi anodno bondiranje so bile obravnavane. Kot ilustracija uporabe omenjenih tehnologij je bil podan pregled mikrostruktur izdelanih v LMSE kot npr. mikročrpalk, mikroreaktorjev skupaj s karakterizacijo in področji uporabe le teh.
COBISS.SI-ID: 8473940