V govornem konferenčnem prispevku-predavanju sem predstavil optimizacijo metod vrstične elektronske mikroskopije in elektronske mikroanalize z metodo EDS za karakterizacijo tankih plasti na osnovi zlitine Fe-Pd. Analiza morfologije površine nanostrukturnih plasti Fe-Pd in njihove debeline je bila narejena z uporabo visokoločljivostnih FEGSEM posnetkov. Kemijska sestava tankih plasti je bila določena z uporabo dveh neodvisnih metod EDS: (i) z nizkovoltno EDS analizo Fe-L in Pd-L spektralnih črt ter (ii) z metodo konvencionalne mikroanalize pri različnih pospeševalnih napetostih in z uporabo posebnega kvantitativnega programa za analizo tankih plasti na substratu. Rezultati kvantitativnih EDS analiz so potrdili konzistentnost obeh analitskih metod. Ugotovili smo, da je nizkovoltna EDS analiza hitrejši postopek, ki je primeren in zadostno natančen za pridobitev zanesljivih in natančnih analiz elementne sestave Fe-Pd ultratankih plasti, ki imajo debelino ) 80 nm.
COBISS.SI-ID: 25021735
V delu poročamo o evalvaciji kakovosti tankih plasti na osnovi bakrovega sulfida (CuS). Plasti z različnimi debelinami so bile pripravljene z istočasnim termičnim naprševanjem posameznih elementov. Poleg drugih uporabljenih metod karakterizacije je bil naš prispevek v tem delu osredotočen na uporabo komplementarnih metod napredne vrstične elektronske mikroskopije in mikroskopije na atomsko silo za preiskave in analizo morfoloških in mikrostrukturnih lastnosti tankih plasti CuS.
COBISS.SI-ID: 25179431