1.

Plazemski sij pri magnetronskem naprševanju pri veliki vršni moči

S hitro kamero smo posneli svetlobne sije okrog ionizacijskih con, ki nastanejo med HIPIMS razprševanjem tarče. Izmerili smo, da se svetlobni sij širi s hitrostjo okrog 20000 m/s kar nakazuje, da je jakost lokalnega tangecialnega električnega polja okrog 2000 V/m. Na razdalji 10 mm ali več od tarče, kjer je električno polje zelo šibko, plazemski sij usmerja magnetno polje B.

COBISS.SI-ID: 26294055

2.

Tribološke lastnosti diamantu podobnih prevlek nanesenih z anodnim ionskim izvorom in z magnetronskim naprševanjem

V tem članku smo primerjali mehanske in tribološke lastnosti Cr/DLC prevlek, ki smo jih naredili z anodnim ionskim izvirom (ALS), s tistimi, ki smo jih pripravili z naprševanjem. Naredili smo kompletno karakterizacijo sistema in določili optimalne pogoje nanašanja za različne aplikacije. Poudarek je bil na določitvi vpliva parametrov nanašanja na mehanske in tribološke lastnosti prevlek. Metoda pin-on-disk je pokazala, da imata DLC prevleka, pripravljeni z ALS boljše tribološke lastnosti od tiste, ki smo jo pripravili z naprševanjem.

COBISS.SI-ID: 24806183

3.

Laserska modifikacija večplastne strukture TiAlN/TiN s femtosekundnim laserjem

Večplastno strukturo TiAlN/TiN, ki smo jo nanesli na jekleno podlago, smo obsevali z 200 fs pulzi laserske svetlobe z valovno dolžino 775 nm. Pri jakosti svetobnega toka 1.16 J/cm2 so se na površini prevleke zgodile razlićne spremembe: od lepo oblikovanih paralelnih struktur (brazd) do globokih kraterjev. Parametre laserske ablacije smo določili na osnovi gostote toka svetlobe in števila pulzov. Prag za poškodbo pri enem pulzu je bil 0.66 J/cm2, medtem ko je bil inkubacijski faktor za nastanek poškodb 0.642. Pri manjših gostotah svetlobnega toka so nastale brazde s periodo 580 nm. Brazde opazimo na robu kraterja tudi v primeru, kadar je v centru le-tega prišlo do močne ablacije.

COBISS.SI-ID: 15272214

4.

Gostota defektov v različnih PVD prevlekah narejenih z naprševanjem

Nodularni defekti, ki jih najdemo v vseh trdih prevlekah, negativno vplivajo na njihove tribološke lastnosti, zato moramo njihovo koncentracijo zmanjšati na minimu. Pripravili smo klasične TiAlN enojne plasti in nanoplastne strukture tipa TiAlN/TiN in TiAlN/CrN. S 3D-profilometrijo smo zasledovali topografijo prevlek iz več sto depozicij. Analizirali smo tudi vpliv defektov na globinsko ločljivost GDOES spektroskopije in na pojav jamičaste korozije.

COBISS.SI-ID: 25571623

5.

Simulacija večplastnih struktur v prevlekah narejenih z magnetronskim naprševanjem

Večplastne PVD prevleke pripravimo tako, da podlage na katere jih nanašamo, rotirajo mimo različnih izvirov za naprševanje. Trajektorja podlag je v primeru večkratne rotacije zelo kompleksna. Odvisna je od stopnje rotacije, začetne pozicije podlage in geomrtrijskih parametrov vakuumske naprave. Lastnosti večplastne prevleke so zelo odvisne od zaporedja in debeline posameznih plasti. Razvili smo računanalniški program, ki nam omogoča da vnaprej določimo hitrosti nanašanja, sekvenco in debelino posameznih plasti. V tem delu smo primerjali večplastne strukture, ki smo jih dobili s računalniško simulacijo, z TEM posnetki prereza napršenih struktur in ugotovili, da se zelo dobro ujemata.

COBISS.SI-ID: 23341863