Na epoksiju osnovan foto občutljivi polimer SU8 je bil uporabljen kot senzorska plast za kemijski kapacitivni sensor. Struktura omogoča naknadno procesiranje na dvo metalnih tehnologijah CMOS. Odziv senzorja počasi narašča s temperaturo utrjevanja do 300°C. Nad to temperaturo pa odziv naraste za skoraj trojno vrednost. Na temperaturah med 300 in 320°C, ki so še vedno pod temperaturo degradacije za ta polimer, se struktura polimerne plasti poruši, postane odprta. To je bilo dokazano z FTIR spektroskopijo.
COBISS.SI-ID: 4060442
Študirali smo uporabnost prevodnih fotorezistov za fotolitografske aplikacije. V matrico iz negativnega fotorezista na osnovi epoksija smo dodajali visoko prevodne ogljikove n-delce. UV osvetlitev je povečala prevodnost za približno 4 velikostne razrede v območju perkolacijskega praga zaradi mreženja polimerne osnove. Za velikostni razred pa se prevodnost spreminja z uporabo različnih dispergantov. Kompoziti z bolje dispergiranimi delci imajo večjo prevodnost. Kompoziti z vsebnostjo n-C delcev do 1,1 vol% se lahko uspešno uporabljajo za fotolitografske aplikacije.
COBISS.SI-ID: 4191002
Predstavljen je optični kodirnik z visoko točnostjo pretvorbe. Sestoji se iz polja optičnih senzorjev, namenjenih povprečenju signala ter iz fiksne in čitalne letve z 10um rastrom in z Vernierjevo porazdelitvijo. Zgradba sistema omogoča periodično prerazporeditev optičnih robov znotraj periode sinusnega signala in znotraj Vernierjeve periode ter s tem zmanjšanje popačenja proizvedenih sinusnih signalov za 30dB. Izdelana matematična analiza se dobro ujema z izsledki meritev.
COBISS.SI-ID: 7187028
Elektromagnetna združljivost preučuje nenamerno generiranje, prenašanje in dovzetnost elektromagnetne energije v odnosu z neželenimi efekti. Njen cilj je izogniti se interferencam med različnimi napravami, ki delujejo na elektromagnetnem pojavu, v skupnem elektromagnetnem polju. Članek je osredotočen na elektromagnetno združljivost v integriranih vezjih.
COBISS.SI-ID: 7186516
Opisana je metodologijo načrtovanja, modeliranja in simulacije visoko zmogljivega MEMS elektro-mahanskega ?? modulatorja. Metoda temelji na pretvorbi časovno-zveznega modela MEMS senzorja in analognega filtra v časovno diskretni ekvivalent z uporabo impulzno in variantne transformacije. Metodologija je uporabna za katerikoli MEMS senzor, ki deluje v zaključeni zanki. Uporaba predlagane metodologije omogoča učinkovito načrtovanje, simulacije in predvidevanje obnašanja in stabilnosti na visokem hierarhičnem nivoju.
COBISS.SI-ID: 7301972