P2-0244 — Letno poročilo 2011
1.
Silicijeve mikrostrukture

Podan je bil pregled tehnologij za mikroobdelavo, ki se uporabljajo pri izdelavi silicijevih mikrostruktur. Osnovne tehnologije mikroobdelave, kot so različne metode jedkanja silicija (izotropno, anizotropno, mokro, suho,…), jedkanje drugih pomembnih materialov (Pyrex steklo, Borofloat steklo, ipd), kot tudi anodno bondiranje so bile obravnavane. Kot ilustracija uporabe omenjenih tehnologij je bil podan pregled mikrostruktur izdelanih v LMSE kot npr. mikročrpalk, mikroreaktorjev skupaj s karakterizacijo in področji uporabe le teh.

B.04 Vabljeno predavanje

COBISS.SI-ID: 8473940
2.
Prof. dr. Slavko Amon, predstojnik Laboratorija za mikrosenzorske strukture in elektroniko (LMSE) na Fakulteti za elektrotehniko Univerze v Ljubljani

Predstavljeno je bilo znanstveno raziskovalno delo v LMSE iz stališča uporabe le tega v Slovenski industriji ter obrtni dejavnosti. Poudarek je bil na naprednih tehnologijah s področja MEMS, ki višajo dodano vrednost modernih mikrostruktur, senzorjev ter aktuatorjev.

F.18 Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, konference)

COBISS.SI-ID: 11767835
3.
Aktivnosti v LMSE

Podan je podroben pregled aktivnosti v LMSE na področju mikroobdelave silicija, stekla ter kompatibilnih materialov, ki sestavljajo moderne mikroelektronske senzorje, aktuatorje ter MEMS stukture. Hkrati so bila predstavljene aplikacije iz različnih področij, za katere se v LMSE omenjene strukture razvijajo.

F.18 Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, konference)

COBISS.SI-ID: 8470100