1.

Primerjalna študija različnih izvedb keramičnih senzorji tlaka za nizko tlačno področje

Opravljena je primerjalna študija načrtovanja in izdelave različnih tipov membranskih keramičnih senzorjev tlaka v LTCC, načrtovanih za merjenje nizkih tlakov do nekaj 10 KPa. Obravnavani so piezouporovni in kapacitivni senzorji tlaka različnih dimenzij (debeline membrane 100 in 200 um ter premera 25 mm, 15 mm in 8 mm). Občutljivost, ki smo jo dosegli za piezouporovne senzorje je znašala 500 µV/V/kPa in 20 fF/kPa za kapacitivni senzor, kar je zelo obetaven rezultat s stališča potencialne uporabe.

COBISS.SI-ID: 22941735

2.

Študij stabilnosti odziva nizkotlačnega piezouporovnega keramičnega senzorjev tlaka izdelanega v LTCC

Študirali smo in eksperimentalno ovrednotili stabilnost piezouporovnega keramičnega senzorja tlaka načrtovanega za tlačno področje 0-3 kPa in izdelanega v LTCC tehnologiji in obenem analizirali primernost LTCC izvedbe senzorjev za precizne maritve nizkih tlakov. Poleg eksperimentalne karakterizacije poskusnih senzorjev so v študijo vključene tudi numerične analize, ki so pokazale trende in pomagale razložiti vpliv nekaterih ključnih parametrov dizajna. Rezultati so dobra osnova za razvoj novega komercialnega izdelka.

COBISS.SI-ID: 23364135