1.

Numerična analiza debeloplastnih piezokeramičnih struktur za miniaturne senzorje tlaka

Obravnavan je piezoelektrični resonančni senzorja tlaka z debeloplastnim PZT aktuatorskim/senzorskim elementom izdelanim na pred-žganji 3D LTCC strukturi. Posebna pozornost je namenjena numeričnem modeliranju senzorja in analizi odziva senzorske strukture v resonanci. Z eksperimentalnim preverjanjem numeričnih rezultatov smo potrdili pravilnost zgrajenih numeričnih modelov in njihovo uporabnost v nadaljnjih analizah za optimizacijo dizajna.

COBISS.SI-ID: 21688615

2.

Miniaturni keramični senzorji tlaka z debelimi PZT plastmi

Študirali smo primernost debeloplastnih piezokeramičnih (PZT)struktur, procesiranih na predhodno žgani LTCC podlagi, za uporabo pri izvedbi senzorjev tlaka. Posebna pozornost je namenjena karakterizaciji PZT plasti in ovrednotenju materialnih parametrov potrebnih za numerično modeliranje. Predstavljen je primer numeričnega modeliranja in validacije modela resonančnega senzorja tlaka.

COBISS.SI-ID: 21175079

3.

Karakterizacija in numerično modeliranje debeloplastnih PZT struktur

Opisan je inovativen postopek karakterizacije PZT debelih plasti na LTCC keramiki, s katerim smo določili materialne parametre PZT za potrebe numeričnega modeliranja senzorske strukture. Standardov za to področje še ni. Predstavljena rešitev vključuje uporabo indentacijske metode za meritev elastičnih lastnosti debelih piezokeramičnih plasti in ustrezno prilagojeno metodo za določanje transverzalnega piezoelektričnega koeficienta. Dobro ujemanje rezultatov simulacij testnih aktuatorjev z eksperimentalnimi rezultati je potrdilo ustreznost predlaganih merilnih postopkov.

COBISS.SI-ID: 21287719

4.

Študij primernosti različnih materialov za elektrode debeloplastne PZT strukture na LTCC

Študirali smo mikrostrukture ter električne in piezoelektrične lastnosti debelih PZT plasti na pred-žgani LTCC in korundni keramiki. Z namenom, da bi zmanjšali interakcijo med PZT filmom in reaktiovno LTCC podlago smo preizkusili rešitve z dodatno vmesno keramično plastjo (bariero) in z uporabo različnih debeloplastnih materialov za izvedbo elektrod. Predstavljeni so rezultati karakterizacije PZT plasti v strukturah z elektrodami izdelanimi z uporabo različnih debeloplastnh prevodnih materialov.

COBISS.SI-ID: 22677031

5.

Študij stabilnosti nizkotlačnega piezouporovnega keramičnega senzorja tlaka izdelanega v LTCC

Študirali smo stabilnost piezouporovnega keramičnega senzorja tlaka izdelanega v LTCC tehnologiji ter eksperimentalno ovrednotili primernost LTCC izvedbe senzorjev za precizne meritve v tlačnem področju 0-3 kPa. Poleg eksperimentalne karakterizacije poskusnih senzorjev so v študijo vključene tudi numerične analize, ki so pokazale trende in pomagale razložiti vpliv nekaterih ključnih parametrov dizajna. Rezultati so dobra osnova za razvoj novega komercialnega izdelka.

COBISS.SI-ID: 23364135