1.

Debeloplastni senzorji in aktuatorji za MEMS strukture na osnovi LTCC – karakterizacija in evaluacija.

Debeloplastne senzorje temperature (upori z visoko pozitivno ali negativno odvisnostjo upornost od temperature) smo tiskali in žgali na korundnih in LTCC podlagah. Mikrostrukturne preiskave so pokazale, da med žganjem aktivne plasti in steklaste LTCC podlage reagirajo med seboj. To vodi do sprememb električnih karakteristik, predvsem do sprememb plastnih upornosti in temperaturnih koeficientov upornosti. Te rezultate moramo upoštevati, ko načrtujemo debeloplastne temperaturne senzorje v LTCC strukturah.

B.03 Referat na mednarodni znanstveni konferenci

COBISS.SI-ID: 21793831

2.

Debeloplastne paste in folije na osnovi ogljika za oblikovanje 3D LTCC struktur

Včasih aplikacije zahtevajo izdelavo pokopanih votlin in kanalov v 3D LTCC strukturah. Za izdelavo pokopanih votli, ne da bi prišlo do razlastitve ali deformacije, se pogosto uporabljajo tako imenovane žrtvovane plasti. To so paste ali folije na osnovi ogljika, med procesom laminacije podpirajo struktur in na to med žganjem zgorijo. S termo gravimetrično analizo smo preiskali več teh materialov in pripravili testne3D strukture za evaluacijo.

B.03 Referat na mednarodni znanstveni konferenci

COBISS.SI-ID: 22022439