1.

D.RESNIK, D.VRTAČNIK, U.ALJANČIČ, M.MOŽEK, S.AMON: Vpliv površinskega agenta Triton na anizotropno jedkanje zrcalne ravnine {110} v (100) siliciju.

Delo obravnava teoretični in eksperimentalni pristop mokrega jedkanje silicija v TMAH (tetrametil-amonijev hidroksid) pri realizaciji optičnih mikrostruktur, predvsem mikrozrcal realiziranih na (100) siliciju. Rezultirajoča zrcala so bila preliminarno karakterizirana tako optično z meritvami odbojnosti pri valovnih dolžinah 632nm, 1.33µm in 1.55µm, kot tudi z meritvami površinske hrapavosti in morfologije s SEM in AFM analizo. Prispevek bo omogočil boljše razumevanje, načrtovanje in realizacijo mikrostruktur.

COBISS.SI-ID: 4688724

2.

D.RESNIK, U.ALJANČIČ, D.VRTAČNIK, M.MOŽEK, S.AMON: Mehanske napetosti v tankoplastnih mikrostrukturah izdelanih na silicijevem substratu.

Po temeljitem študiju vpliva intrinzičnih mehanskih stresov v posameznih plasteh in analizi merjenih rezultatov smo postavili pogoje depozicij tankih plasti, kjer smo dosegli zmajšanje stresnih upogibov ročic in dvostransko vpetih mostičev. Analiza je pokazala tudi velik vpliv izbire debelin pasivacijskih plasti na upogibe membran in njihovo minimizacijo pri ničelnem tlaku. Pokazano je bilo, da imaj senzorji tlaka pri debelinah Si membrane pod 15µm velik ničelni upogib, ki ga inducira kombinacija izolacijskih plasti SiO2 and LPCVD Si3N4, ki se uporabljajo v standardnih postopkih.

COBISS.SI-ID: 4953428

3.

FURLAN, Jože, GORUP, Žarko, LEVSTEK, Andrej, AMON, Slavko. Vplivi visokih električnih polj in temperature na prevodnost a-Si

Pokazali smo, da se pri visokih električnih poljih zaradi Poole-Frenklovega efekta in termično stimuliranega tuneliranja poveča električna prevodnost a-Si. Zasedenost stanj v reži, koncentracije ujetih in prostih nosilcev naboja in električna prevodnost so bili izračunani na osnovi neutralnosti v področju prostorskega naboja in časovno nespremenljive koncentracije nosilcev. Teorija dinamike ujetja-emisije v a-Si ob visokih poljih je bila razširjena z uporabo funkcije zasedenosti in kvazi Fermijevih nivojev.

COBISS.SI-ID: 4457556

4.

MOŽEK, Matej, VRTAČNIK, Danilo, RESNIK, Drago, ALJANČIČ, Uroš, PENIČ, Samo, AMON, Slavko. Sistem za umerjanje tlačnih senzorjev

V prispevku je predstavljena modularna zasnova sistema za umerjanje tlačnih senzorjev z digitalnim pristopom obdelave senzorskega signala. Opisani, izdelani in implementirani so algoritmi za stabilizacijo merjene veličine, ki za samo stabilizacijo merjene veličine uporabljajo odčitke iz ASIC vezja za prilagoditev signala senzorja. Predstavljen je izboljšan princip umerjanja analogne izhodne stopnje senzorja in izboljšana metoda digitalne temperaturne kompenzacije senzorjev. Predstavljen je koncept adaptivne zasnove samostojnega učenja sistema za umerjanje.

COBISS.SI-ID: 5672788

5.

D.RESNIK, J.KOVAČ, D.VRTAČNIK, U.ALJANČIČ, M.MOŽEK, A.ZALAR, S.AMON: Raziskava lastnosti večplastnih tankih filmov Ti/Ni/Ag na Si substratu

V raziskavah je bila uporabljena metalizacijska shema plasti Ti/Ni/Ag za kontaktiranje zadnje strani elementa. Opravljena je bila raziskava vzrokov, ki privedejo do poslabšane adhezije. Ugotovljeno je bilo, da ima temperaturna obdelava močan vpliv na adhezijo ter da se pojavlja največji mehanski stres v Ni plasti (1.4-2 MPa). Z znižanjem mehanskega stresa v Ni plasti in temperaturno obdelavo pri 550°C je bila dosežena ustrezna adhezija.

COBISS.SI-ID: 21313319