Nalaganje ...
Projekti / Programi
Elektronsko optični risalnik za nanolitografijo
Raziskovalna dejavnost
| Koda | Veda | Področje | Podpodročje |
|---|---|---|---|
| 2.09.00 | Tehnika | Elektronske komponente in tehnologije |
| Koda | Veda | Področje |
|---|---|---|
| P180 | Naravoslovno-matematične vede | Meroslovje, fizikalna instrumentacija |
| T171 | Tehnološke vede | Mikroelektronika |
Ključne besede
elektronski risalnik, nanolitografija, nanoemiter, hladen vir elektronov
Vrednotenje
(metodologija)
Organizacije (2) , Raziskovalci (4)
0106 Institut "Jožef Stefan"
| št. | Evidenčna št. | Ime in priimek | Razisk. področje | Vloga | Obdobje | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1. | 03066 | Elektronske komponente in tehnologije | Vodja | 2005 - 2008 | 250 | |
| 2. | 20335 | Gradbeništvo | Raziskovalec | 2005 - 2008 | 191 | |
| 3. | 03366 | Elektronske komponente in tehnologije | Raziskovalec | 2005 - 2008 | 113 |
7741 LPKF LASER & ELECTRONICS d.o.o.
| št. | Evidenčna št. | Ime in priimek | Razisk. področje | Vloga | Obdobje | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1. | 23624 | Konstruiranje | Raziskovalec | 2005 - 2008 | 0 |
Povzetek
Zamisel Elektronsko optičnega risalnika za nanolitografijo temelji na dosedaj izkazanim prednostim nanoemiterja, uporabljenega kot točkast vir elektronov. Informacija o jakosti toka na danem mestu se zapiše preko kemijske reakcije, ki jo elektroni sprožijo na tarči, oz. v organskem rezistu. Ideja projekta nadalje sloni na miniaturizaciji elektronsko optičnega sistema, kar omogoča delovanje risalnika v območju 1 KV. S tem je bistveno zmanjšana globina sledi in posredno zmanjšana razširitev sledi, kar omejuje ločljivost današnjih naprav z energijo elektronov 30 KeV ali več.