Nalaganje ...
Projekti / Programi
Ionsko in kemijsko črpanje v UV vakuumu
Raziskovalna dejavnost
| Koda | Veda | Področje | Podpodročje |
|---|---|---|---|
| 2.09.05 | Tehnika | Elektronske komponente in tehnologije | Vakuumistika |
| Koda | Veda | Področje |
|---|---|---|
| T001 | Tehnološke vede | Elektronika in elektriška tehnologija |
| T210 | Tehnološke vede | Strojništvo, hidravlika, vakuumska tehnologija, vibracije in akustično inženirstvo |
Ključne besede
vakuum, črpanje, ionska črpalka, magnetron, tanke plasti, titanove spojine, vodik, razprševanje
Vrednotenje
(metodologija)
Organizacije (2) , Raziskovalci (10)
1534 ITPO, inštitut za tehnologijo površin in optoelektroniko
| št. | Evidenčna št. | Ime in priimek | Razisk. področje | Vloga | Obdobje | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1. | 15703 | Elektronske komponente in tehnologije | Raziskovalec | 1998 - 2001 | 723 | |
| 2. | 10429 | Elektronske komponente in tehnologije | Raziskovalec | 1999 - 2001 | 1.405 | |
| 3. | 03066 | Elektronske komponente in tehnologije | Raziskovalec | 1998 - 2001 | 250 | |
| 4. | 09105 | Elektronske komponente in tehnologije | Raziskovalec | 1999 - 2001 | 113 | |
| 5. | 17622 | Raziskovalec | 1998 - 2001 | 18 | ||
| 6. | 01741 | Elektronske komponente in tehnologije | Vodja | 1999 - 2001 | 383 | |
| 7. | 03366 | Elektronske komponente in tehnologije | Raziskovalec | 1999 - 2001 | 113 |
0204 Inštitut za elektroniko in vakuumsko tehniko d.d., Ljubljana - v likvidaciji
| št. | Evidenčna št. | Ime in priimek | Razisk. področje | Vloga | Obdobje | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1. | 07480 | Elektronske komponente in tehnologije | Raziskovalec | 1999 - 2001 | 67 | |
| 2. | 15884 | Elektronske komponente in tehnologije | Raziskovalec | 2000 - 2001 | 13 | |
| 3. | 01737 | Elektronske komponente in tehnologije | Raziskovalec | 2000 - 2001 | 249 |
Povzetek
Preiskovali bomo značilnosti nizkotlačnih razelektritev v prečnem električnem in magnetnem polju. Določili bomo karakteristike modelnih magnetronskih celic z različno konfiguracijo elektrod. Preučevali bomo razpršitveni količnik v odvisnosti od konfiguracije elektrod in jakosti električnega in magnetnega polja. Preučevali bomo vezavo molekul in atomov aktivnih plinov na površino anode in katode. Pripravili bomo modelne vzorce tankih plasti titanovih spojin in preučevali črpanje vodika na teh vzorcih. Določili bomo optimalno konstrukcijo večceličnih magnetronskih vložkov v ionski črpalki glede na črpalno hitrost, končni tlak, življenjsko dobo in ceno izdelave.