Oprema
Sistem za pripravo tankih filmov
PVD sistem podjetja Prevac omogoča rast tankih filmov magnetnih materialov (bodisi zlitin, plasti Fe, Ni ali dopiranih materialov), oksidov (kot sta aluminijev oksid in indijev kositrov oksid) in dielektrikov za aplikacije v napravah. Za boljši nadzor stehiometrije, boljšo kristaliničnost in homogenost filma je možno uporabiti reaktivno naprševanje z dušikom ali kisikom, segrevati vzorec, uporabiti napetost na podlagi ali uporabiti vir ionov, kar pomaga pri čiščenju substrata in izboljšanju kakovost nanosa.
Skrbnik opreme:
dr. Barbara Ressel
Za dostop do opreme kontaktirajte Barbaro Ressel (barbara.ressel@ung.si) z opisom načrtovanega eksperimenta. Tarče za nanos zagotovi uporabnik. Po odobritvi eksperimenta se dostop praviloma uredi v roku enega meseca.
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1)
Legenda
Organizacije (1)
št. |
Evidenčna št. |
Razisk. organizacija |
Kraj |
Matična številka |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
1. |
1540 |
Univerza v Novi Gorici |
Nova Gorica |
5920884000 |
14.575 |