Nalaganje ...
Oprema
Visoko resolucijski sistem z reakcijsko komoro namenjeno kemijskemu parnemu nanosu tankih plasti na osnovi silana s pomočjo plazme in reakcijsko komoro namenjeno tehnikam reaktivnega ionskega jedkanja v plazmi z visoko gostoto
Namembnost opreme
Nanos, odstranjevanje in mikroobdelava tankih plasti za potrebe polprevodne in fotonske industrije.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme:
dr. Marko Topič
Za dostop do opreme in njeno uporabo se je potrebno dogovoriti s kontaktno osebo: Miha Cacovich (miha.cacovich@fe.uni-lj.si).
Za dostop do opreme in njeno uporabo se je potrebno dogovoriti s kontaktno osebo: Miha Cacovich (miha.cacovich@fe.uni-lj.si).
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
| št. | Evidenčna št. | Naziv | Obdobje | Vodja | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | P2-0415 | 1.1.2022 - 31.12.2027 | 3.677 |
Organizacije (1)
| št. | Evidenčna št. | Razisk. organizacija | Kraj | Matična številka | Štev. publikacijŠtev. publikacij |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | 1538 | Ljubljana | 1626965 | 29.104 |