Oprema vir: ARIS

State-of-the-art FIB (Focused Ion Beam)

Uredi
Namembnost opreme
State-of-the-art FIB predstavlja kombinacijo vrstičnega elektronskega mikroskopa (SEM) in ionskega žarka in je v glavnem namenjen za pripravo tankih lamel za preiskave s presevno elektronsko mikroskopijo (TEM) oziroma za tehnike nanolitografije. Za pripravo tankih lamel je dodatno potrebna uporaba različnih plinov iz katerih se formirajo zaščitni filmi na površini vzorcev in mehansko manipulatorji za pritrditev narejenih tankih lamel na nosilce za TEM preiskave. FIB je nadalje opremljen tudi z ESD sistemom za kemijsko analizo preiskovanih vzorcev.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme: dr. Miran Čeh
Opremo lahko uporabljajo vsi kvalificirani operaterji IJS (tudi zunanji), ki so uspešmo zaključili postopek šolanja, ki ga organiziora Center za elektronsko mikroskopijo in mikroanalizo (CEMM). Operaterji z licenco dostopajo do FIB-a na podlagi rezervacij v on-lin rezervacijskem sistemu. Ker je FIB del infrastruktrunega centra CEMM in obenem deluje v okviru infrastrukturnega programa IJS, so termini uporabe operaterjev odvisnio od narave tematike raziskovalnega dela in internega sofinanciranja raziskovalne opreme.
Raziskovalni in infrastrukturni programi ARIS (1) Legenda
št. Evidenčna št. Naziv Obdobje Vodja Štev. publikacij
1.  I0-0005  Infrastrukturni program Instituta Jožef Stefan  1.1.2022 - 31.12.2027  dr. Miran Čeh  6.633 
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacij
1.  0106  Institut "Jožef Stefan"  Ljubljana  5051606000  93.831 
Zahtevana je potrditev
Zgodovina ogledov
Priljubljeno