Oprema vir: ARIS

Namenska mokra postaja za kemijsko procesiranje substratov

Uredi
Namembnost opreme
Oprema se uporablja za kemijska čiščenja in spiranja vzorcev v postopkih izdelave polprevodniških elementov, ki zahtevajo uporabo čistih površin, kot je na primer pred izvajanjem visokotemperaturnih, plazemskih in ostalih tehnoloških procesov. Naprava vsebuje izplakovalnik za hitro odstranjevanje čistoč (ang. QDR) in kontrolno enoto z merilnikom upornosti vode, ki omogoča avtomatsko in kontrolirano čiščenje vzorcev. Izplakovalnik omogoča istočasno očistiti 25 silicijevih ploščic velikosti 100 mm v standardni nosilcih.
Dostop do opreme
Skrbnik opreme: dr. Danilo Vrtačnik
Oprema je nameščena v čistih prostorih in je pod ustreznimi pogoji dostopna tudi drugim raziskovalnim organizacijam http://www.fe.uni-lj.si/raziskovanje/oprema/
Organizacije (1)
št. Evidenčna št. Razisk. organizacija Kraj Matična številka Štev. publikacij
1.  1538  Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko  Ljubljana  1626965  29.104 
Zahtevana je potrditev
Zgodovina ogledov
Priljubljeno