RTA termično procesiranje

grelni sistem za hitro termalno obdelavo vzorcev z širokim temperaturnim razponom. Peč lahko greje od sobne temperature do 1200C z hitrostjo gretja 50K na sekundo. Je majhna namizna peč za gretje vzorcev, ki niso večji od 20 x 20mm. Sestavljena je iz kvarčne cevi katero lahko vakuumiramo ali jo napolnimo z želenim plinom. Trenutno imamo na voljo termično obdelavo v štirih različnih atmosferah. Lahko uporabimo kompresiran zrak za potrebe oksidacije ali pa jo napolnimo z inertnim plinom kot je dušik ali argon. Za potrebe redukcije je na voljo tudi nitrostar (90%N2,10%H2). Vakuum ki ga lahko dosežemo na tem sistemu je 10-5mbara. Peč programiramo preko ugrajenega kontrolerja, za bolj zahtevne temperaturne režime pa preko računalnika. Na controlerju lahko spremljamo trenutno temperaturo na vzorcu in programirano temperaturo. V peč lahko sprogramiramo do 32 različnih temperaturnih korakov v enem programu.

Skrbnik opreme: dr. Dragan D. Mihailović
Spletni naslov: www.nanocenter.si
prvi dostop glede na dogovor s skrbnikom, izučeni operaterji dostopajo prek rezervacijskega sistema