Sistem za epitaksijo z molekularnim curkom - MBE

Epitaksija z molekularnim curkom je zelo natančna metoda depozicije za rast monokristalnih tankih plasti. Z njo lahko izdelujemo filme različnih materialov, kot so kovine, polprevodniki, magnetni materiali, oksidne in halkogenidne plasti, plasti organskih molekul, itd. Rast poteka pri ultravisokem vakuumu v komori, kjer izvorni materiali izparevajo in se nalagajo na substrat. Temperaturni kontroler, zaslonke, monitor tokovnega curka, masni analizator in sistem za odbojni uklon visokoenergijskih elektronov (RHEED) zagotavljajo in-situ opazovanje in nadzor nad izparevanjem in rastjo. Debelina tako zraslih filmov sega od monoplasti do več deset nanometrov.

Skrbnik opreme: dr. Jure Strle
Spletni naslov: www.nanocenter.si
prvi dostop glede na dogovor s skrbnikom, izučeni operaterji dostopajo prek rezervacijskega sistema